五氟化鉭
五氟化鉭，化學(xué)式TaF5，白色結(jié)晶。折光能力強(qiáng)。相對(duì)密度4.74。熔點(diǎn)96.8℃。沸點(diǎn)229.5℃。稍溶于熱的二硫化碳和四氯化碳溶液中，溶于水和乙醚生成氟氧絡(luò)合離子TaOF52-和氟化氫，亦溶于氫氟酸、硝酸、發(fā)煙硝酸。在空氣中吸濕而不水解。能緩慢腐蝕玻璃。氟化金屬鉭制得。也可由五氯化鉭和無(wú)水氟化氫作用制得。用作傅-克反應(yīng)的催化劑。用于生產(chǎn)電容器，也用于化學(xué)氣相沉積。鉭粉直接氟化可制取純度大于99%的產(chǎn)品。在微電子工業(yè)中用作氣相淀積硅化鉭或鉭，以制作低電阻高熔點(diǎn)的互連線(xiàn)。
